高精度电镜光阑 | 探索微观世界的“视界闸门”
光阑产品的核心挑战
01
微米级孔径控制:常用孔径范围在10μm至1000μm之间,要求极高的尺寸公差,最高要求可达1μm。
02
抗散射锥孔设计:为了减少电子束边缘散射,微孔往往设计有特定的角度开口,常规的有14°,53°,90°开口锥孔,这对加工的几何形状有着严苛要求。
03
边缘极致光洁:孔壁若存在细微毛刺或氧化层,会引起电子束充电效应(Charging),导致成像漂移或畸变,因此对孔壁的边缘的光洁度也有极高的要求。
飞秒技术重新定义微加工标准
01
真正的“冷加工”方案:飞秒激光利用超短脉冲宽度,在热量传导至材料基体前即完成消融。这彻底解决了材料在切割或钻孔时常见的边缘发黑、氧化等热损伤难题。
02
三维旋切成型:借助精密光学旋切系统,岳乾激光不仅能加工出一致性极高的微米级通孔,更能在微观尺度下精准复现各类形貌的抗散射锥孔,确保孔壁圆润、无毛刺。
03
全材料适配性:无论是高硬度的钼、贵金属铂,还是各类特种合金,陶瓷、非金属等飞秒激光均能实现无应力切削,确保微米级排列的条状光阑在大面积加工后依然保持极致的平整度。




