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高精度电镜光阑 | 探索微观世界的“视界闸门”



在透射电子显微镜(TEM)与扫描电子显微镜(SEM)的精密光路系统中,光阑(Apertures)承担着限定束流、减少相差及提升成像对比度的核心职能。作为电子束必经的“咽喉”,光阑的制造精度直接定义了显微镜的最高分辨极限


TEM用条状光阑



极微之境



光阑产品的核心挑战


高性能电镜光阑(如常见的条状光阑或单孔光阑)通常采用钼(Mo)、铂(Pt)或钽(Ta)等耐高温、电子屏蔽性强的金属材料。其产品特性包含:

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微米级孔径控制:常用孔径范围在10μm至1000μm之间,要求极高的尺寸公差,最高要求可达1μm。

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抗散射锥孔设计:为了减少电子束边缘散射,微孔往往设计有特定的角度开口,常规的有14°,53°,90°开口锥孔,这对加工的几何形状有着严苛要求。

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边缘极致光洁:孔壁若存在细微毛刺或氧化层,会引起电子束充电效应(Charging),导致成像漂移或畸变,因此对孔壁的边缘的光洁度也有极高的要求。



岳乾激光



飞秒技术重新定义微加工标准


针对科研及工业级电镜光阑的国产化与性能超越需求,上海岳乾激光科技有限公司利用飞秒激光(Femtosecond Laser)微加工技术,为市场提供了全新的解决方案。

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真正的“冷加工”方案:飞秒激光利用超短脉冲宽度,在热量传导至材料基体前即完成消融。这彻底解决了材料在切割或钻孔时常见的边缘发黑、氧化等热损伤难题。

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三维旋切成型:借助精密光学旋切系统,岳乾激光不仅能加工出一致性极高的微米级通孔,更能在微观尺度下精准复现各类形貌的抗散射锥孔,确保孔壁圆润、无毛刺。

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全材料适配性:无论是高硬度的钼、贵金属铂,还是各类特种合金,陶瓷、非金属等飞秒激光均能实现无应力切削,确保微米级排列的条状光阑在大面积加工后依然保持极致的平整度。



岳乾激光致力于将飞秒微加工技术

应用于精密光学元件,

以“中国精度”打破高端耗材的进口依赖

为您的科研与生产提供

更稳定、更清晰的微观成像保障。


岳乾激光加工的300微米和70微米的小孔